การทำความเข้าใจอุปกรณ์สูญญากาศหลัก: คู่มือการใช้งานอุตสาหกรรมที่ทันสมัย

• ประเภท: ปั๊มใบพัดหมุน, ปั๊มสกรู
• หลักการ: การบีบอัดเครื่องกลของก๊าซผ่านส่วนประกอบการหมุน

ปั๊มใบพัดหมุนใช้ใบพัดที่ติดตั้งผิดปกติพร้อมใบพัดแบบพับเก็บได้เพื่อดักจับและบีบอัดก๊าซ

ปั๊มสกรูพึ่งพาใบพัดคู่แบบคู่เพื่อขนส่งก๊าซด้วยการสั่นสะเทือนน้อยที่สุด

• ผลงาน:

ช่วงความดัน: สูญญากาศต่ำ (1 ×10⁻³ - 760 TORR)

คุณสมบัติที่สำคัญ: ความเร็วในการสูบฉีดเร็วคุ้มค่าและความเหมาะสมสำหรับระยะสูญญากาศที่หยาบ

• แอปพลิเคชัน: การสร้างก่อนการผลิต (ปั๊ม foreline), เครื่องอบแห้งและอุปกรณ์ในห้องปฏิบัติการ

• หลักการ: ใบมีดหมุนความเร็วสูง (20, 000-90, 000 rpm) ส่งโมเมนตัมไปยังโมเลกุลแก๊สนำไปสู่ไอเสีย
• ผลงาน:

ช่วงความดัน: สูญญากาศสูง (1 ×10⁻⁹ - 1 ×10⁻³ Torr)

คุณสมบัติที่สำคัญ: การดำเนินการปลอดน้ำมันสิ่งสำคัญสำหรับกระบวนการที่ไวต่อการปนเปื้อน

• ประเภท:

ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ: ใบพัดกังหันหลายขั้นตอนสำหรับการอพยพก๊าซที่มีประสิทธิภาพ

ปั๊มโมเลกุลไฮบริด: รวมเทอร์โบและขั้นตอนการลากเพื่อการครอบคลุมแรงดันที่กว้างขึ้น

• แอปพลิเคชัน: การพิมพ์หินเซมิคอนดักเตอร์, การเชื่อมลำแสงอิเล็กตรอนและการทับถมของฟิล์มบาง

• หลักการ: โมเลกุลแก๊สถูกควบแน่นและติดอยู่บนพื้นผิวที่เย็นลงถึง 10-20 K โดยใช้ฮีเลียมเหลวหรือแช่แข็ง
• ผลงาน:

ช่วงความดัน: สูญญากาศสูงเป็นพิเศษ (<1×10⁻¹⁰ Torr).

คุณสมบัติที่สำคัญ: ไม่มีชิ้นส่วนที่เคลื่อนไหวการทำงานที่สะอาดเป็นพิเศษ แต่ต้องมีการฟื้นฟูเป็นระยะเพื่อปล่อยก๊าซที่ติดอยู่

• แอปพลิเคชัน: ตัวเร่งอนุภาค, ห้องจำลองพื้นที่และเครื่องมือวิเคราะห์พื้นผิว (เช่น X-ray photoelectron spectroscopy)

เครื่องมือเหล่านี้วัดความดันในระดับสูญญากาศที่แตกต่างกัน:

• มาตรวัด Pirani: ตรวจจับการเปลี่ยนแปลงการนำไฟฟ้าความร้อน (10⁻⁴ - 760 TORR) เหมาะสำหรับการตรวจสอบสูญญากาศหยาบ
• ความจุ manometers: วัดความดันผ่านการเบี่ยงเบนไดอะแฟรม (10⁻⁴ - 1,000 TORR) ซึ่งให้ความแม่นยำสูง
• เกจวัดไอออนไนซ์: ใช้การทิ้งระเบิดอิเล็กตรอนเพื่อไอออนไนซ์โมเลกุลก๊าซ (10⁻⁻-10⁻³ Torr) จำเป็นสำหรับระบบการระเหยสูง

• หลักการ: ตรวจจับก๊าซฮีเลียม tracer ที่หลบหนีผ่านไมโครลีค (ความไวลงไปที่10⁻⁻² torr · l\/s)
• แอปพลิเคชัน:
  Semiconductor Fabs: สร้างความมั่นใจว่าห้องประมวลผลเวเฟอร์ที่ปราศจากการรั่วไหล
  การบินและอวกาศ: การตรวจสอบความสมบูรณ์ของระบบเชื้อเพลิงในยานอวกาศ
  HVAC: ทดสอบซีลวงจรสารทำความเย็น